微机电系统论文

梳状电容微加速度计的结构设计与分析

一、梳状电容微加速度计结构设计和分析（论文文献综述）王亚洲[1]（2021）在《纳米压电梁谐振式加速度计的设计与仿真》文中研究说明迄今为止,基于MEMS技术的微机械谐振式加速度...
微加工阵列滤波器麦克风的动态特性

一、微机械阵列滤波传声器的动态特性（论文文献综述）鲍飞鸿[1]（2020）在《射频微机电高品质谐振器技术研究》文中指出近几十年来,微机电系统（Micro-Electro-Mec...